【简介】Fischione 离子束切割抛光系统：两支独立可调电磁聚焦离子枪，离子枪无任何耗材，同时每支离子枪同时覆盖高能量（快速抛光）和低能量（精细修复），保证效率和效果同时；维护简单，无需频繁清枪处理。

SEM Mill离子束切割抛光系统

产品简介：

SEM Mill作为采用技术制造的离子束切割抛光系统，提供可靠、高性能的样品制备能力，能够在最短时间内解决各类扫描电镜制样困难材料的制样问题，同时具备紧凑、精确以及搞稳定性的优点。

主要性能特点：

1、高效电磁聚焦离子束设计：

两支独立可调电磁聚焦离子枪，离子枪无任何耗材，同时每支离子枪同时覆盖高能量（快速抛光）和低能量（精细修复），保证效率和效果同时；维护简单，无需频繁清枪处理

2、超宽加速电压范围：

离子枪能量范围 0.1keV~10keV，在不同加速电压下，离子束束斑均保持最细束斑状态。加速电压越高，抛光速度越快，抛光速度可达 500μm/Hr（Si@10keV，计算方式是离子枪开始工作到一个小时停下来）；

3、抛光面积更大：

Fischione 离子束束斑直径范围 300 微米~5000 微米，采用电磁聚焦离子枪设计，可控制离子束束斑大小，从而实现更大面积的抛光，抛光面积可以达直径 32mm 区域，抛光面积越大，从而可以获得更大区域的样品信息；

4、具备样品测厚功能：

该设备配备类似扫描电镜样品台的磁编码器，可实时读出样品台的坐标信息，通过配合激光检测系统确定样品点位置，软件自动计算出样品厚度，自动匹配抛光位置，保证制样的成功性，自动测厚示意图如下：

5、全自动化操作，一键完成制样：

Fischione 离子切割抛光系统采用 10 英寸触屏控制，所有参数数字化控制，配备编程功能，可存储常见样品抛光参数，配合样品自动测厚功能，能够一键完成制样，降低人为因素干扰，真实还原样品结构信息；

配方制样软件界面截图

6、切割定位精度高：

配备 XYZR 四轴对位系统，同时配合放大倍数高 2800 的精密装样器，可精准定位切割位置，对位精度可达 1μm；

7、两种抛光模式：

同时具备平面抛光和截面切割两种功能，通过配合精密对位系统，可省去树脂包埋环节，大大缩短制样时间，同时通过配备的平面抛光夹具，可直接适配现有切片样品，样品尺寸为切片常用的直径 32mm（1.25 英寸），直接利用平面抛光去除表面应变层即可获得样品真实结构信息，大大增加设备的适用范围；

8、换样时间快：

配备 LoadLock 快速换样设计，配备换样舱和加工舱，换样仅需要破掉换样舱真空即可，大大缩短换样抽真空时间，提高设备利用效率；

技术规格：

Fischione 离子束切割抛光系统由星河视域（无锡）智能科技有限公司 为您提供，如您想了解更多关于Fischione 离子束切割抛光系统报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。