【简介】INSTEC XYZ模块化高温探针台的真空高温探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。

mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备

可编程控温，涵盖RT~1000℃

适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

模块化设计，可自由组合

*可升级为8个独立探针

*SMA接头转BNC四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于p测试

温度范围

30℃~1000℃

加热块材质

陶瓷

传感器/温控方式

大升温速率

S / PID控制（含LVDC降噪电源）

50℃/min

最小温控速度

±0.1℃/min

温度分辨率

0.1℃

温度稳定性

±0.5℃

软件功能

可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

适用样品

25 mm*25mm

样品腔高

4/8 mm （可选）

探针座

可从外部XYZ移动的探针臂

粗调模式+微调模式，XY粗调20mm

XY微调行程10mm,Z微调 3mm

调节精度          

10um

气氛控制

真空腔，也可充入保护气体

外壳冷却

可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

台体尺寸/重量

300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg

表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试

需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的

需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的

需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的

晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试

测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率