【简介】Sensofar S-neox 3D光学轮廓仪在性能、功能、效率和设计方面优于现有的3D光学轮廓仪，是Sensofar 的新一代测量系统。

主动照明多焦面叠加是一种为了测量大粗糙表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。通过使用主动照明，即使在光学平滑的表面上也能获得更可靠的测量数据，这一点已经得到了改进。该技术的亮点包括高斜率表面(高达86°),更快的速度(3mm/s)和较大的垂直范围测量。

共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供更佳的横向分辨率，可达0.14um 水平分辨率，空间采样可减少到0.01um，这是关键尺寸测量的理想选择。高达NA(0.95)和放大倍率(150X)的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面，可允许 86°。共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。

光学干涉是利用参考镜和样本上产生的两束反射光在零光程差时产生干涉的现象来生成三维干涉图样(干涉图)，包含样本表面形貌上的信息。该方式的各种变化可用于具体不同的应用。

PSI（相移干涉法）

可以用于测量亚埃分辨率的高度光滑和连续表面的高度。可以使用极低的放大率(2.5X)测量具有相同高度分辨率的大视场。

CSI（相干扫描干涉法）

使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，达到1 nm 的高度分辨率。

薄膜测量技术快速、准确、无损地测量光学透明层的厚度，且不需要样品制备。该系统获取可见光范围内样品的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，准确地找到匹配的厚度，可以在不到一秒钟的时间内测量出 50nm到1.5um 的透明膜。测量光斑取决于物镜放大率，范围从0.5um到40um。

通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机，达到惊人的测量速度。数据采集速度达180fps。标准测量采集速度比以前快5倍。Sneox成为市场上速度极快的表面测量系统。

每一台S neox都是为了实现精确且可追溯地测量。我们的设备使用符合IS0 25178中的Part 700和Part 600标准的可追溯标准块进行校正。所有的指标，包括高度及水平精度、平面度偏差、系统分辨率等都以测量此类标准块而得到。我们坚持所有的测量设备按照此标准执行。自2007 年以来，Sensofar一直是国际标准化组织(ISO/TC213)技术委员会的成员。

垂直分辨率受到仪器噪声的限制，仪器噪声对于干涉测量是固定的，但共聚焦测量依赖的数值孔径。Sensofar 专有算法以光学仪器更佳的横向分辨率为测量技术提供纳米级系统噪声。所示的形貌是亚纳米(0.3 nm)原子层。由PTB 提供。

我们的技术( Microdisplay共聚焦技术)，搭配全域LED照明光源，以及连续共聚焦的扫描算法(该算法可以允许z轴电机快速移动的同时，连续采集拍照)。相比于传统共聚焦的单个光点照明，SENSOFAR的系统比传统激光共聚焦(LSC`s)采集速度快至少5倍。

微分干涉(DIC)用于强调在正常观察中没有对比度的非常小的高度特征。通过使用 Nomarski棱镜，产生了干涉图像，解决了在明视场或共聚焦图像中不可见的亚纳米级结构。

用LED做照明光源要比用激光更有优势。首先LED光源可以避免发生激光光源的散斑现象。其次LED光源的使用寿命约50000小时（约25倍于激光）。最重要的是多个LED就意味着可以根据样品的需求选择最合适的波长来测量。