【简介】Instec微型探针冷热台
HCP421V-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 400℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

Instec微型探针冷热台 HCP421V-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 400℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

Instec微型探针冷热台 HCP421V-PM：集成温控与电学测试的精密平台

INSTEC HCP421V-PM微型探针冷热台是美国Instec公司推出的一款真空型温控探针台，专为半导体、材料科学等领域的变温电学表征与测试而设计。该设备将精准温控、探针电测试、光学观察与气氛环境控制四大功能集成于一体，可单独使用，也可搭配显微镜或光谱仪等光学系统实现原位观测。HCP421V-PM型号适用于晶圆、芯片、薄膜材料及MEMS器件在变温环境下的电性能分析，广泛应用于高校科研院所、半导体器件厂商及材料研发企业。

产品细节与用材方面，探针台体尺寸仅为180mm×130mm×27mm，重约1.6公斤，紧凑的桌上型设计便于在实验室灵活部署。加热区直径为26mm，加热块采用银材质打造，确保了热传导效率与温度均匀性。上盖配备可拆卸与更替的窗片，窗片范围约φ18mm，视角约±45°，方便操作者从上方直接观察样品和探针位置，同时也为集成显微镜或光谱仪等光学系统提供了便利。探针标配为铼钨材质的弯针，可选配铍铜等其他材质以适应不同测试需求，每个探针座均可独立手动定位，在密封腔体前可触及样品区的任意位置。

温控性能是该设备的核心优势。温度覆盖范围宽达-190℃至400℃。模块化设计是该设备区别于同类产品的显著特点。包装方面，设备随附专业定制化包装箱及配套mK2000B温控器、外壳循环水冷系统等标准配置。随附详细的操作手册与快速入门指南，帮助用户快速掌握使用要领。售后服务提供整机原厂质保、远程故障排查、配件供应及上门安装培训等全周期服务保障。