【简介】Sensofar S neox 是一款集共聚焦、干涉测量与 Ai 多焦面叠加技术于一体的三维光学轮廓仪，专为亚纳米至微米尺度的表面形貌测量而设计，适用于研发实验室与工业质量控制场景

S neox 的核心设计理念是将多种光学测量技术集成于同一传感器头中，且不含任何内部运动部件。其共聚焦技术采用 Microdisplay 扫描方式，可实现高横向分辨率的表面形貌采集，适用于从光滑到较粗糙表面的测量。干涉测量模块包含 PSI（相移干涉）与 CSI（相干扫描干涉）两种模式，前者面向超光滑表面的高精度测量，后者则适用于光滑至中等粗糙表面的三维形貌重建。Ai 多焦面叠加技术通过主动照明辅助聚焦，专为粗糙表面和大坡度形貌设计，在保持较高扫描速度的同时扩大了垂直测量范围。

该设备在操作层面强调易用性。配套的 SensoSCAN 软件提供引导式操作界面，用户可通过单次点击完成技术切换，无需手动更换硬件。自动 3D 功能可自动确定照明条件与测量范围，降低了对操作人员经验的依赖。在质量控制场景中，SensoPRO 模块支持操作权限管理、测量配方存储以及与条码/二维码读取器的兼容，可输出合格/不合格判定报告。分析功能覆盖 ISO 25178 标准下的多项表面纹理参数，并支持将分析设置保存为模板应用于重复性测量。

从应用角度看，S neox 适用于微电子、半导体、精密加工、光学元件、医疗器械及材料研究等领域，可在不损伤样品的前提下获取表面形貌、关键尺寸及纹理信息。