【简介】Sensofar高精度三维表面形貌测量系统是一款集共聚焦、干涉测量、Ai 多焦面叠加与光谱反射技术于一体的高精度 3D 表面测量系统，专为亚纳米至微米尺度的表面形貌表征而设计，适用于研发实验室与工业质量控制场景。

Sensofar高精度三维表面形貌测量系统S neox 的核心设计理念是将多种互补的光学测量技术集成于同一传感器头中，且不含任何内部运动部件。其共聚焦技术采用微显示扫描方式，可实现高横向分辨率的表面形貌采集，适用于从光滑到高度粗糙的多种表面。干涉测量模块包含 PSI（相移干涉）与 CSI（相干扫描干涉）两种模式，前者面向超光滑表面的高精度测量，后者则适用于光滑至中等粗糙表面的三维形貌重建。Ai 多焦面叠加技术通过主动照明辅助聚焦，专为粗糙表面和大坡度形貌设计，在保持较快扫描速度的同时扩大了垂直测量范围。此外，光谱反射模块可快速、无损地测量透明薄膜与多层材料的厚度。

在操作层面，S neox 强调易用性与效率。配套的 SensoSCAN 软件提供引导式操作界面，用户可通过单次点击完成技术切换，无需手动更换硬件。Auto 3D 功能可自动确定照明条件与测量范围，降低了对操作人员经验的依赖。在质量控制场景中，SensoPRO 模块支持操作权限管理、测量配方存储以及与条码/二维码读取器的兼容，可输出合格/不合格判定报告。分析功能覆盖 ISO 25178 标准下的多项表面纹理参数，并支持将分析设置保存为模板应用于重复性测量。

Sensofar高精度三维表面形貌测量系统从应用角度看，S neox 适用于半导体与先进封装、精密光学、医疗器械、航空航天、精密制造及材料研究等领域，可在不损伤样品的前提下获取表面形貌、关键尺寸及纹理信息。