【简介】S-neox表面形貌快速测量系统集成共聚焦、干涉（PSI/CSI/ePSI）、Ai 多焦面叠加及膜厚测量四种技术。该系统专为研发与质量管控设计，符合 ISO 25178 国际标准，适用于从超光滑到粗糙表面的无损精密测量。

S-neox表面形貌快速测量系统基于共聚焦显微术、相移干涉术（PSI）、相干扫描干涉术（CSI）及Ai 多焦面叠加技术，旨在提供快速、精准且易于使用的表面形貌测量解决方案。该仪器通过独特的微显示器扫描技术和智能算法，实现了高效的数据采集速度，同时保持纳米级的垂直分辨率和优秀的横向分辨率。

S-neox表面形貌快速测量系统采用四合一测量技术架构，用户只需一次点击即可切换至适合当前样品的测量模式。该软件系统包含SensoSCAN采集软件、SensoVIEW分析工具及可选的SensoPRO质量管理模块，符合ISO 25178、ISO 21920等国际表面纹理标准。系统支持自动边缘检测、CAD 对比分析及自动化批量测量，能够生成可追溯的通过/失败报告，极大简化了从研发分析到生产线质检的工作流程。

适用场景

• 航空航天与汽车制造实验室（涡轮叶片、发动机部件表面检测）

• 半导体与微电子研发中心（晶圆缺陷、薄膜厚度、微结构测量）

• 医疗器械研发机构（牙科植入体、骨科器械表面形貌分析）

• 精密加工与刀具制造车间（切削刃半径、微观纹理评估）

• 材料科学研究室（摩擦学镀层、纳米压痕、古生物学样本分析）