【简介】Zygo三维形貌轮廓仪
ZYGO NewView 9000 3D光学轮廓仪提供了一套多功能的非接触式光学表面分析方案，能够简便、快速地测量光滑、粗糙、平坦、倾斜及阶梯式等多种类型的表面。所有测量过程均无损、快速，且无需样品制备。

Zygo三维形貌轮廓仪

ZYGO NewView 9000 3D光学轮廓仪提供了一套多功能的非接触式光学表面分析方案，能够简便、快速地测量光滑、粗糙、平坦、倾斜及阶梯式等多种类型的表面。所有测量过程均无损、快速，且无需样品制备。

ZYGO相干扫描干涉技术（CSI）是该系统的核心技术，可在所有放大倍率下实现亚纳米级精度，并快速准确地测试各类样品表面，为用户带来较高的投资回报。

灵活性与多样性是ZYGO NewView产品的一贯特点。NewView 9000 可覆盖平面度、粗糙度与波纹度、薄膜、台阶高度等多种应用场景。所有NewView 9000系统均配备三位变焦塔台，可自动切换不同倍率的分立变焦；样品台则可选手动型或全自动编码型。

所有NewView 9000系统均提供高精度测量、简便操作与快速测量能力，价格具有吸引力，在通用性与应用价值方面使其成为3D光学轮廓仪的理想选择。

以下差异化特性可帮助用户实现更好、更快、更可靠的计量体验：

大面积1.9 MP传感器具备高灵敏度，可在单次测量中获取更多信息；高速测量仅需数秒，配合优化的测试能力与程序控制；自动零件聚焦与定位功能可减少操作员之间的测试差异，提高培训与测试效率；优异的重复性特征为高要求的生产应用提供测量精度与可重复性保障；SureScan™抗震技术与集成式抗震平台使系统在振动环境下仍可实现高精度计量；SmartPSI™技术可对超光滑表面进行快速分析测量；测量结果遵循ISO 25178与ISO 4287标准，实现2D与3D的相关性；Mx™软件则实现仪器控制、分析与测量自动化。

NewView 9000采用ZYGO Mx™软件，支持完整的系统控制与数据分析，包括丰富的交互式3D绘图、量化的形貌信息、直观的测量导航以及内置的SPC统计、质量控制图与通过/失败限制设置。交互式3D绘图支持缩放、平移、旋转并实时更新结果；灵活分析功能提供广泛的定量分析结果，包括数据视图与过滤器；直观的用户界面采用易于学习和使用的流程化设计；内置SPC分析工具可跟踪结果、监控合格/不合格标准并跟踪处理数据。此外，还有满足特殊应用需求的应用程序模块，如透明薄膜样品测量、2D图像分析等。

在配置方面，NewView 9000的工作区域功能开放、界面条理清晰，使测量设置与转换简单快捷。系统可配备从手动型到全自动型的多种样品平台，支持150毫米XY平移与4度俯仰倾斜。可选集成式抗震平台以紧凑尺寸适合台式安装，结合可选工作台则可成为理想的生产型测试系统。开放的工作区域使视野更清晰、操作更便捷。

Zygo三维形貌轮廓仪