非接触三维形貌分析在半导体制造中的实践——Sensofar S neox 的测量路径

SensofarSneox白光干涉仪凭借非接触式三维成像与多模式切换能力，在半导体前道晶圆、后道封装及光罩检测中实现微观形貌计量。该系统通过垂直扫描重建纳米级表面数据，支持粗糙度、台阶高度等参数分析，为工艺监控与良率提升提供客观依据。半导体前道工艺中，晶圆薄膜厚度、刻蚀沟槽深度与侧壁角度、化学机械抛光平整度等参数直接影响器件性能。Sneox的白光干涉模式基于低相干光干涉原理，通过垂直扫描快速重建被测区域三维形貌，全程无需接触样品，避免了接触压力导致的形变或损伤风险，适用于对精...

Sensofar 3D光学轮廓仪在深宽比测量的技术解析

应用分享ApplicationShare总结交流经验荟萃SHARE仪器设备介绍产品简介S-neox在半导体、光学器件、材料、超精密加工、航空航天等领域被广泛应用。能够观测产品材料的表面形貌和轮廓尺寸；能够实现产品结构的2D尺寸、3D尺寸测量；能够实现图像的自动拼接；该设备具有高分辨率、大景深观察，纵向分辨率达0.01nm；能够进行表面粗糙度、平整度、台阶高度等微结构测量；设备同时拥有白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面叠加等几种不同的测量功能技术，在使用中可以一键切换几种不同...

Sensofar S neox 白光干涉仪：精密光学元件形貌与尺寸计量方案

SensofarSneox白光干涉仪凭借纳米级垂直分辨率与多模式光学系统，在精密光学元件制造中实现了面形、粗糙度及微结构的高效计量。该方案覆盖透镜至衍射元件检测，支持镀膜台阶测量与自动化产线应用，为工艺优化提供数据支撑。白光干涉技术在平面、球面及非球面光学元件的表面粗糙度与面形误差测量中具有显著优势。Sneox基于白光干涉的垂直扫描原理，能够重建纳米乃至亚纳米级别的表面微观轮廓。这对于评价光学表面的光洁度，以及识别抛光过程中可能产生的划痕、麻点、印迹等微观缺陷具有实际帮助。与...

金属织构演变如何表征？视芯光学T100的光学测量方案

应用分享ApplicationShare总结交流经验荟萃FRIDAYSHARE仪器设备介绍产品简介视芯光学T100国产白光干涉共聚焦显微镜，基于自主研发的光学架构与高精度重构算法，为三维微观形貌的精密检测提供了性能可靠的国产替代方案。该设备成功突破了多项关键工艺与系统集成技术瓶颈，在实现纳米级测量精度的同时显著降低了用户采购成本，广泛应用于半导体晶圆、精密机械零部件及光学元件等制造领域的过程质量控制与出货检测环节。SHARE表征金属织构演变表征金属织构演变在金属塑性成形与热处...

从全域养护到定点维修：探地雷达在桥梁无损检测的实践案例

应用分享ApplicationShare总结交流经验荟萃FRIDAYSHARE仪器设备介绍产品简介GS9000，作为巡鹰智检的新一代拳头产品，无论在技术层面还是用户体验上，都实现了新的升级与突破。其中，最为引人注目的莫过于其清晰成像和高清裂纹识别能力。优点:1、双极化阵列式天线，测线间距较小、检测数据更加清晰，相对于二维探地雷达来说，覆盖宽度更大，检测效率更高。2、步进频作为最大的亮点，频率覆盖范围更宽，很好地兼顾了探测深度和分辨率。3、操作更加简单、便捷，检测数据的解译判读...

视芯光学T100国产3D光学轮廓仪:技术与应用概览

视芯光学推出T100型国产3D光学轮廓仪，该设备基于光学干涉原理，具备非接触式三维形貌测量能力，覆盖微米至纳米尺度分析需求。作为精密制造与科学研究中的质量控制工具，其支持自动对焦、多区域拼接及批量测量，可输出粗糙度、台阶高度等关键参数，旨在为半导体、精密加工及材料科研领域提供稳定可靠的国产测量方案。3D光学轮廓仪借助非接触式光学扫描，可快速获取样品表面的三维形貌信息，涵盖高度、宽度、角度、体积等多项关键参数。视芯光学T100采用光学干涉原理，结合稳固的机械结构与环境适应性设计...

应用分享|Sensofar 3D光学轮廓仪在微透镜阵列表征上的应用

应用分享ApplicationShare总结交流经验荟萃FRIDAYSHARE仪器设备介绍产品简介S-neox在半导体、光学器件、材料、超精密加工、航空航天等领域被广泛应用。能够观测产品材料的表面形貌和轮廓尺寸；能够实现产品结构的2D尺寸、3D尺寸测量；能够实现图像的自动拼接；该设备具有高分辨率、大景深观察，纵向分辨率达0.01nm；能够进行表面粗糙度、台阶高度等微结构测量；设备同时拥有白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面叠加等几种不同的测量功能技术，在使用中可以一键切换几种...

视芯光学T100：国产高精度3D光学轮廓仪

视芯光学推出T100型国产3D光学轮廓仪，该设备基于白光干涉技术，具备纳米级垂直分辨能力与非接触式测量特性。作为精密制造与科学研究中的表征工具，其通过减震设计、温漂控制及误差补偿算法提升数据稳定性，支持自动对焦、ISO25178标准粗糙度分析等功能，覆盖半导体封装、精密光学及生物材料等工业质检与科研领域。所谓“高精度”，并非单一指标所能概括，而是仪器综合性能的集中反映，通常涉及垂直分辨率、横向分辨率、测量重复性及准确性等多个维度。视芯光学T100采用白光干涉技术，结合精密Z向...